パワー半導体用SiCエピウエハー6インチ品 15年にはP型もラインアップ

摘要

自動車への搭載が確約されたことで、需要拡大が確実視されるSiCパワーデバイス。量産の前提になるのが、高品質·大口径の4H SiCエピウエハーの安定供給だ。2013年9月に6インチエピウエハーを上市した昭和電工㈱(東京都港区芝大門1-13-9、03-5470-3235)は、その品質と量産技術で世界最先端を走つている。事業開発センターパワー半導体プロジェクトの大澤弘マネージャーにその取り組みを伺った。——6インチの実用化に道筋をつけましたね。