コベルコ科研 液晶検査装置が好調 酸化物TFTで標準機に

摘要

㈱コベルコ科研(神戸市中央区脇浜海岸通1-5-1、078-272-5915)がLEO事業本部で展開している液晶検査装置の販売が拡大している。低温ポリシリコン(LTPS)TFTや酸化物TFTなど高精細液晶分野で高く評価され、2012年度は数十台の販売を見込む。特に酸化物TFT向けにスタンダード機としての地位を確立しており、今後設置される全製造ラインへの採用を目指す。