荏原製作所新型真空ポンプ中負荷用途向け

摘要

㈱荏原製作所(神奈川県藤沢市本藤沢4-2-1、0466-83-8111)は、半導体製造装置用の新型水冷式ドライ真空ポンプ「EV-L型」を2017年1月から販売する。新製品はメタルエッチングやポリシリコンエッチングなど中負荷用途向けに最適。同製品の販売開始に伴い、ロードロック室や検査装置、スパッタ装置など軽負荷用の「EVIS型」、成膜装置など重負荷用の「EVIM型」と合わせ、軽〜重負荷までの全領域でラインアップが揃った。