荏原製作所 水冷式ドライ真空ポンプ 半導体産業向け発売 軽-重負荷全領域揃ろ

摘要

荏原製作所は来年1月、半導体産業向け新型水冷式ドライ真空ポンプを発売する。今回投入する「EV-L型」はメタル.ポリエッチングなどの中負荷用途向けに最適。現在、販売中の軽負荷用途(ロードロック室、検査装置、PVD装置など)向け「同S型」、重負荷用途(成膜装置など)向け「同M型」と合わせ、軽負荷から重負荷までの全ての領域で最適なドライ真空ポンプをラインアップした。