SCREENセミコンダクターソリューションズ 新型の枚葉式洗浄装置メモリー用に高生産性

摘要

㈱SCREENホールディングスグループの㈱SCREENセミコンダクターソリューションズ(京都市上京区堀川通寺之内上る4天神北町1-1、075-414-7111)は、枚葉式洗浄装置の新製品として世界最高水準の生産性を実現した「SU-3300」を開発した。微細パターンの倒壊抑制など処理性能の高度化を図っており、主に高生産性が要求されるメモリーをターゲットに販売する。