CMPパッド加工から再生事業へ 新SiC・GaN研磨技術の事業化目指す

摘要

三重県四日市市北部の大矢知地区は、江戸時代から続く手延べそうめんの特産地である。その北を流れる朝明川を渡った対岸の工業団地内に、東邦エンジニアリング㈱(四日市市山分町字川之下443、059-364-3811)がある。外観こそありふれた中小企業だが、クラス100のクリーンルームを保有してCMPパッドの加工や再生、SiC・GaNウエハーの研磨技術の事業化に取り組んでいる。