300mmウエーハ対応工場の搬送システム技術的成熟度が高く，改善の余地は少ないが全体的な構成改善で，さらなる高速化を狙う

摘要

300mmウエーハ対応ファブでは，自動化によって ウエーハ搬送を効率的に行う手法が採用されてい る。そして，搬送設備，保管設備，搬送管理設備な どを組み合わせて，可能な限りオペレークを介入さ せないシステムは，AMHS（Automated Matehal Handling Systems）と呼ばれる。本稿では，半導 体搬送システムの概要を紹介する。