クリーンルーム関連技術のトレンド清浄度アップのみなら関連製品も充実専用のシステム・工法も勢ぞろい

摘要

エレクトロニクス工場のクリーンルームは，半導休 やFPDが生まれる場所として，環境のクリーン度 が重視されてきた。そして基板サイズや生産量の拡 大とともに，クリーンルームの規模も大きくなり， クラス別のクリーン度も細分化され，局所クリーン 化技術に代表される様々な手法も登場している。し かし同時にクリーンルームは，作業者や製品が出入 りし，部材か消費される場所でもあるので，大気の クリーン度に直接関係しない要素も，全体としての 環境の清浄度に大きな影響を与える。