アルパックの本格量産向け有機EL製造装置新型リニアソース，低ダメージ構造などの開発で高効率生産，安定性，大型基板への対応可能に

摘要

アルパックは，長年にわたって有機ELの開発に携 わり，生産装置における問題解決に注力してきた装 置メーカー。本稿では，07年9月11日に開催さ れた07秋季FPDシンポジウム「検証：有機EL　本 格普及期に突入」における同社FPD事業本部　有機 EL応用技術センター1課　藤本弘氏の講演から，同 社における，高精細なマスク蒸着に頼らない白色発 光デバイスの開発状況，電極形成技術として大型基 板化が可能なスパッタ技術，材料消費と熱分解を最 小にした新型蒸着源について紹介する。