KLA-Tencorが欠陥レビュー・分類装置に再参入幅広い分野・レベルに向けた製品群

摘要

KLA-Tencorのビジネスの大半を占めるアジア地域。中でも日本は，高度なデバイス製造に圧倒的な強さを示している。日本のデバイスメーカーは，ファブの効率を著しく向上させるための最先端の検査および測定ツー ルに投資することを惜しまないと同社は分析しており，今後もその伸び率の持続に期待している。本稿では，同社のグローバルPR担当Charles Lewis氏に欠陥レビュー・分類装置の新製品について伺った。