デバイスメーカーから見た検査・測定の課題シミュレーションを活用したROI最適化が重要電子ビームやScatterometryの実用化に期待

摘要

デバイスメーカーによる検鼓装置の選定においては，rnROIモデルを用いた最適化が進められており，そこrnではシミュレーション技術が重要になっている。本rn稿では，東芝プロセス技術推進センターの山崎裕一rn郎氏への取材を基に，デバイスメーカーの側から見rnたウェーハの検査・測定の課題についてまとめる。