注目のプラズマドーピング技術の最新開発動向最絢課題とソリューション実用化に重要となる正確なドーズ制御

摘要

半導体は，これまで微細化で大成功してきた平面型rnの構造から，立体型の構造に脱却しようとしている。rnこのことにより，本来人間が欲していた性能の電子rn機器が実現する可能性が高まる。本稿では，この立rn体化する半導体素子を実現するための不純物ドーピrnング技術としてプラズマドーピングに関して当社グrnループの開発を中心に説明する。