パーティクルカウンタ・センサの最新製品動向重要度が高まるパーティクルコントロールあらゆる環境下でのクリーン化技術に対応

摘要

微細化が進む半導体プロセスにおいて，パーティク ルのコントロールは生産性に大きく影響する重要な ファクタである。本稿では，Semicon Japan 2007での出展製品などを中心に，関連各社のパー テイクルカウンタ・センサ最新製品動向をまとめ た。