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FIELD EMISSION SEM

机译:场发射SEM

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摘要

The JSM-7800F represents a significant leap forward in field emission SEM technology, with unmatched resolution and stability for na-notechnology imaging and analysis. The JSM-7800F uniquely combines an in-lens field emission gun with an aperture angle control lens, optimizing large probe currents (up to 200 nA) for operation at the smallest probe diameter.
机译:JSM-7800F代表了场发射SEM技术的重大飞跃,其无与伦比的分辨率和稳定性可用于纳米技术的成像和分析。 JSM-7800F独特地结合了镜头内场发射枪和孔径角控制透镜,可优化大探头电流(最大200 nA),以最小的探头直径进行操作。

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  • 来源
    《Science》 |2012年第6101期|p.1557|共1页
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  • 收录信息 美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);美国《生物学医学文摘》(MEDLINE);美国《化学文摘》(CA);
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  • 正文语种 eng
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