中型プローブ顕微鏡システム AFM5500M

摘要

計測精度と操作性を大幅に向上し、ナノ領域の研究開発から品質管理などの工業計測に対応した走査型プローブ顕微鏡システム「AFM5500M」は、新開発のスキャナや低ノイズ3軸センサなどにより高い計測精度を実現するとともに、カンチレバー交換や光軸調整を自動化するなど、操作性を大幅に向上させることで、オぺレーターの負担を軽減する。従来多く利用されていた研究開発用途だけでなく、ますます微細化が進む生産現場での品質管理など工業計測用途での利用も可能である。