日本電子がJBX-8100FSシリーズ発売

摘要

日本電子は、新製品としてスポット型電子ビーム描画装置「JBX-8100FSシリーズ」＝写真＝を開発し、3月から販売を開始した。 スポット型電子ビーム描画装置は、極微細パターンを作製するツールとして汎用性の高い装置で、様々な研究開発や生産分野で使用されている。しかし、最小加工寸法が数nm〜数十nmを達成できる半面、スループットが低下するという潜在的な問題があり、加えて大型設備のため、ランニングコストもかかる。