パワーデバイス用シリコンウエハの厚み計測装置向け波長掃引光源開発

摘要

浜松ホトニタスとNTTアドバンステクノロジ（NTT-AT）、NTTの3社は、タンタル酸ニオブ酸カリウム（KTN）光スキャナーを応用した、発振波長を時間とともに周期的に変化させる高安定な波長掃引光源を新開発した。今後の市場拡大が見込まれるパワーデバイス用シリコンウエハの厚み計測装置用途として、4月から浜松ホトニタスとNTT-ATの両社が、国内の厚み計測装置メーカー向けにサンプル出荷を開始する。