圧電薄膜材料とインクジェット薄膜ヘッドの開発

摘要

本技術は，電気と機械の両エネルギーを相互変換できる圧電材料の薄膜化技術と，その技術を利用したインクジェット（IJ）ラインヘッドに関するものである。圧電方式のIJヘッドは，バブルジェット（サーマル方式）に比べ，制御惟・高寿命・インクの選択性などの点では有利であるが，圧力室が大きくなり，小型化・高密度化・アレイ化などの点で不利である。