Dans les pompes à vide à palettes lubrifiées, un rotor excentré doté de palettes tourne dans un cylindre. Lors de la rotation, les palettes divisent l'espace en plusieurs chambres. Lorsqu'une chambre est en face de la bride d'aspiration, le gaz est aspiré, puis comprimé par la rotation suivante et ensuite rejeté dans le séparateur de brouillard d'huile, où il est séparé par gravité, et par le filtre d'échappement.
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