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机译:在多孔硅晶片上设计基于蛋白质的“芯片上芯片”传感器的先进纳米技术方法
Istituto di Biochimica delle Proteine, Consiglio Nazionale delle Ricerche, Via Pietro Castellino, 111, 80131 Naples, Italy.;
机译:掩埋在硅晶片中的氧化多孔硅光波导的非晶硅传感器
机译:如何提高基于多孔硅的气体和蒸汽传感器的性能?
机译:芯片实验室使用先进的硅技术
机译:基于多孔硅,多孔多晶硅和碳化硅的相对湿度传感器的研究
机译:引入多孔硅作为牺牲材料,以在SOI晶片的衬底中获得空腔,以及用于MEMS器件的吸气材料
机译:用于芯片实验室应用的硅纳米带传感器与CMOS的单片晶圆级集成
机译:用CMOS为芯片应用中的硅纳米纸张传感器的单片晶圆级集成