MEMS

摘要

MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）とは、切rn削?研磨といった機械加工によってではなく、半導体の生rn産技術を応用して作られる、微細な機械構造を持つ集積デrnバイスのことである。この製造方法では、機械構造やアクrnチエエータ、電子回路などを一つにパッケージすることがrn容易であることから、従来の機械加工により生産される小rn型機械と比較して大量生産によるコストダウンが可能といrnう特徴を有している。