「セミコン台湾2013」リポート 業界最小クラス デスクトップDDアクチュエークなど

摘要

CKDは、独自の自動化技術や流体制御技術で世界のモノづくりの先端を行くコンポーネント製品と自動機械のメーカーである。コンポーネント製品では、ウエット(薬液)、ドライ(ガス)、真空を扱う半導体プロセス向け製品を紹介した。耐アルカリ•酸性が求められる薬液用には、エアオペレイトバルブ「LMDシリーズ」を展示。薬液弁には安全性が高く、実績のある自社製品と海外メーカーの継手を組み合わせている。主材料にフッ素樹脂などを採用。独自成形技術で加工、組み立てして供給する。