BiCDMOS最先端ライン 今秋に本格稼働 300ミリウエハー対応0.13μメートル

摘要

ロームはローム浜松(浜松市)のBiCDMOSの最先端ラインを今秋から本格稼働させる。300ミリウェハー対応の0.130.13μメートル大ロ径微細プロセスラインで、今年導入し4月からサンプルを流し始めている。業界に先駆けて今秋本格稼働させ、PC、タブレツト端末のほか、車載向けなどで増大している電源IC、モータードライバー、LEDドライバーといったアナログ・パワーデバイスの需要に国際競争力を高め対応する。松本功取締役LSI生産本部長は「ローム浜松の生産量の40%が300ミリウエハー対応ラインによるものだ。15年度には、ローム浜松の生産量の60%から70%を300ミリウエハー対応ラインで生産したい」と話している。