千住金属工業 300ミリウエハー対応バンプ形成装置 IBM、JSRと開発

摘要

千住金属工業は東京ビッグサイトで開催中の「セミコンジャパン2015」でIBM、JSRと共同で、300ミメーリトルウエハー対応のIMS量産装置「IMS-300」を展示、紹介している。