TED 3次元形状測定器を発売 光コムと共同開発 光源に正確な物差し採用

摘要

東京エレクトロンデバイス(TED)は16日、光コム(東京都千代田区)と共同開発した光コム方式の3次元形状測定器「OPTED」の販売を開始した。近年、精密加工部品の設計•製造現場における形状測定の効率化要求に対し、光学技術を応用した様々な非接触式3次元測定器の導入が進んでいる。しかし、これまでの方式では精度(再現性)、範囲(深度)、速度(形状依存性)などの性能面で一長一短といった製品が多かった。