大真空新構造で世界最薄実現水晶タイミングデバイス来年5月量産

摘要

大真空は水晶振動部を作り込んだ水晶ウエハーを含む3枚の水晶ウエハーを金属薄膜接合で積層した新構造の水晶タイミングデバイスを18年5月から量産する。