国産高精度ガス計測センサー日本電波とJAXA開発

摘要

日本電波工業と宇宙航空研究開発機構(JAXA)は共同で、真空環境下において宇宙用材料などから放出されるガス(アウトガス)を計測するためのTwinQCMセンサーと専用コントローラから構成されるTWinQCM(水晶振動子式微小てんびん)を世界で初めて開発した。