金沢大学の研究グループダイヤモンドウエハー平坦化へ研磨代替技術を開発ダイヤモンドとニッケル接触させてァニールするだけ

摘要

金沢大学ナノマテリアル研究所の德田規夫教授、松本翼淮教授、張旭芳特任助教、坂内和斗氏(研究当時具学院自然科学研究斜電子情報科学専攻博士前期課程)らの研究グループは、ドイツDiamond and Carbon ApplicationsのクリストフE・ネーベルCEO(金沢大学リサーチプロフェッサー〈招へい型〉)との共同研究により、ダイヤモンドの研磨代替技術となる機械的ダメージフリー平坦化技術を開発した。