SiC中の電気特性の微細な分布を3マイメークロトルの世界最高空間分解能で測定

摘要

名古屋工業大学大学院工学研究科の加藤正史淮教授の研究グループは、富士電機、電力中央研究所、昭和電工および産業技術総合研究所の研究グループと協力して、SiC中の電気特性の微細な分布を3マイメークロトルという世界最高の空間分解能で測定する技術を確立し、装置を開発した。この測定技術はSiCパワーデバイス内部の構造が、設計通りに作製されてハるかの可視化を容易にし、SiCパワーデバイスの高性能化につながる。