マイクロマシンセンター最新の技術動向

摘要

MEMS(微小電気機械システム)とは、電気回路と微細な機械構造を一つの基板上に集積させたデバイスである。半導体技術ゃレーザー加工技術を駆使して製造されるものである。MEMSはIoT社会を形成する上で、情報通信をはじめ、自動車、ロボットなどの多様な分野で、小型•高精度で省エネルギー性に優れた高性能デバイスとして多様な研究開発から製品化まで行われている。