NEDO深紫外ピコ秒パルスレーザー発振器世界最高クラス出力8Wを実現

摘要

新エネルギー•産業技術総合開発機構(NEDO)は、スぺクトロニクスと共同で、波長266ナノメートルの深紫外ピコ秒パルスレーザー発振器で世界最高クラスとなる出力8Wの発振器を開発した。スぺクトロニクスが、パルス幅がほピコ秒以下の深紫外短パルスレーザー発振器として、世界に先駆けて販売を開始している。