アクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置など検査技術を訴求

摘要

レーザーテックは、世界初の極端紫外線(EUV)光を用いたアクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置「ACTIS A150」をメーン展示する。ブースでは、EUV露光全般にわたる各種検査装置や主力のマスクブランクス欠陥検査装置、ウエハー関連検査装置も紹介し、最先端の半導体検査技術をアピールする。