昭和電工低欠陥ゲレードをさらに高品質化SiCエピウエハー(6イチン)第2世代品

摘要

昭和電工は、パヮー半道体材料の炭化ケィ素(Sic)ェピタキシャルウエハーの6イチン(150ミリメートル)品において、現在量産中の低欠陥グレード「ハイグレードエピ(HGE)」をさらに高品質化した第2世代製品「HGE-2G」を開発した。同製品の市場提供により、電気自動車(EV)や電鉄車両向けSiCインバータ普及への貢献を目指す。