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机译:面膜去湿或附着力差
机译:以金薄膜的去湿纳米图案为掩模,通过电感耦合等离子体刻蚀,形成宽带和宽角度的硅抗反射亚波长结构
机译:穷人的LMA:用薄膜密封件实现足够的通风。
机译:包含不良溶剂和非溶剂的液体介质中聚合物薄膜的不正常脱湿
机译:薄液膜的粘合失败和脱湿
机译:EUV掩模技术的主要挑战:光化掩模检测和掩模3D效果。
机译:使用热湿润的Pt / Pd合金蚀刻掩膜的无光刻法制备大面积亚波长抗反射结构
机译:使用热湿润的Pt / Pd合金蚀刻掩膜的无光刻法制备大面积亚波长抗反射结构