机译:使用热湿润的Pt / Pd合金蚀刻掩膜的无光刻法制备大面积亚波长抗反射结构
机译:以金薄膜的去湿纳米图案为掩模,通过电感耦合等离子体刻蚀,形成宽带和宽角度的硅抗反射亚波长结构
机译:低温常温热去湿金纳米图案在熔融石英上的宽带减反射亚波长结构
机译:多功能分层纳米/微结构硅表面,具有通过阳极铝氧化铝蚀刻面罩的全向抗反射和超级水分
机译:通过使用去湿润的Pt岛作为蚀刻掩模的干法蚀刻制备纳米结构
机译:亚波长抗反射和偏振光栅元件:分析和制造。
机译:使用热湿润的Pt / Pd合金蚀刻掩膜的无光刻法制备大面积亚波长抗反射结构
机译:使用热湿润的Pt / Pd合金蚀刻掩膜的无光刻法制备大面积亚波长抗反射结构
机译:通过湿法和干法蚀刻铬掩模进行图案转移制备锂铌酸盐中的光子晶体。