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Auを用いた熱圧着マイクロ接合技術: サブミクロンAu粒子を用いたAu接合技術およびAuバンプと接着剤のハイプリッド接合技術

机译:使用Au的热压粘合技术:使用亚微米Au颗粒的Au粘合技术以及Au凸点和粘合剂的混合粘合技术

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摘要

昨今の高機能電子デバイスは,半導体の微細化によって急速な発達を成し遂げてきたが,高度情報化社会は電子デバイスのさらなる小型化,多機能化,高性能化を求めている.これらの要求を満たすために半導体チップのI/O数の増加,端子ピッチの微細化が加速する中,これらに対応した多種多様な接合技術の開発が行われている.われわれはそれらの接合技術の一つである金(Au)を用いた熱圧着接合技術に注目した.本稿では,われわれが開発したサブミクロンAu粒子を用いた接合技術とAuバンプを用いたAu-接着剤のハイプリッド接合技術に関して解説する.
机译:近年来,由于半导体的小型化,高性能电子设备得到了飞速发展,但是,先进的信息社会要求电子设备进一步小型化,多功能化和高性能化。随着半导体芯片中I / O数量的增加和端子间距的小型化加速以满足这些需求,正在开发各种各样的键合技术,我们就是其中之一。在本文中,我们重点介绍了使用金(Au)的热压键合技术,在本文中,我们介绍了使用亚微米Au颗粒的键合技术和使用Au凸点的Au-胶粘剂混合键合技术。

著录项

  • 来源
    《精密工学会誌》 |2013年第8期|714-718|共5页
  • 作者单位

    早稲田大学(東京都新宿区早稲田鶴巻町513);

    米国IBM Corporation (2070 Route 52, Hopewell Junction, NY, 12533, USA);

    早稲田大学(東レエンジニアリング(株)(滋賀県大津市大江1-4-45);

    東京工業大学(神奈川県横浜市緑区長津田町4259);

    早稲田大学(東京都新宿区大久保3-4-1);

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