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SPMの産業応用についての展望

机译:SPM在工业上的应用前景

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摘要

SPM (Scanning Probe Microscope) はその名の通り,微細なプローブ探針を走査しながら試料との相互作用を測定し,走査に合わせて画像化することで試料の微細構造を可視化する顕微鏡である.相互作用によってさまざまな種類があるが,探針と試料の間に流れるトンネル電流を用いた走査型トンネル顕微鏡(STM:Scanning Tunneling Microscope)がIBMチューリッヒ研究所のBinnigとRohrerにより開発され,1981年にシリコン(111)7×7原子像の画像化に成功した.両氏はこの発明によって1986年にノーベル物理学賞を受賞した.
机译:顾名思义,SPM(扫描探针显微镜)是一种显微镜,它通过在扫描细探针的同时测量与样品的相互作用并在扫描过程中对图像进行成像来可视化样品的微观结构。尽管取决于相互作用的类型多种多样,但1981年IBM苏黎世研究所的Binnig和Rohrer开发了一种使用在探针和样品之间流动的隧道电流的扫描隧道显微镜(STM)。成功拍摄了硅(111)7×7原子图像,该图像因此获得1986年诺贝尔物理学奖。

著录项

  • 来源
    《精密工学会誌》 |2013年第3期|195-199|共5页
  • 作者

    渡辺正浩;

  • 作者单位

    (株)日立製作所橫浜研究所 神奈川県横浜市芦塚区吉田町292;

  • 收录信息
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 jpn
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