フェムト秒レーザによる3次元造形と無電解めっきによる金属化マイクロマシンの作製

摘要

近年，立体モデルを自在に作製できる3Dプリンティング技術が注目を集めている.なかでも，フェムト秒レーザーを用いる2光子マイクロ光造形法は，光硬化性樹脂を用いて100nmをしのぐ加工線幅で任意の3次元マイクロ樹脂構造体を作製できる.この技術には，従来のリソグラフィーやエッチングでは作製が困難な複雑かつハイアスぺクト比の構造体を作製できるという特長がある.また，この加工装置は，フェムト秒レーザーと光学顕微鏡で構築できるため，従来の微細加工技術に比べて比較的簡易かつ廉価な設備で，複雑な3次元構造体を作製できる.よって，フォトニクス，マイクロマシン，ラボオンチップや医療など幅広い分野に応用されている.