UVナノィンプリント用光硬化性樹脂の開発について

大幸武司

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UVナノィンプリント用光硬化性樹脂の開発について

机译：UV纳米印刷的光固化树脂的研制

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ナノインプリントは，新たな超微細加工技術の手段として実証されて以来，さまざまな大学，研究機関，企業において.研究開発および量産技術としての検討がなされている.そのうち，Haismaらが被転写材料として光硬化性樹脂を用いるUV (Ultraviolet)ナノインプリントと呼ばれる方式を提案している

机译：已被证明纳米以纳米以纳米以纳米纹加工技术，并在各种大学，研究机构和公司，研究和开发和大规模生产技术。其中，Haisma等人。我们提出一种叫做UV（紫外线）的方法用固化树脂纳米印刷品

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来源
《精密工学会誌》 |2020年第4期|259-262|共4页
作者
大幸武司;
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作者单位

東洋合成工業(株)感光材研究所（千葉県印两市若萩4-2-1);

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