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UVナノィンプリント用光硬化性樹脂の開発について

机译:UV纳米印刷的光固化树脂的研制

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摘要

ナノインプリントは,新たな超微細加工技術の手段として実証されて以来,さまざまな大学,研究機関,企業において.研究開発および量産技術としての検討がなされている.そのうち,Haismaらが被転写材料として光硬化性樹脂を用いるUV (Ultraviolet)ナノインプリントと呼ばれる方式を提案している
机译:已被证明纳米以纳米以纳米以纳米纹加工技术,并在各种大学,研究机构和公司,研究和开发和大规模生产技术。其中,Haisma等人。我们提出一种叫做UV(紫外线)的方法用固化树脂纳米印刷品

著录项

  • 来源
    《精密工学会誌》 |2020年第4期|259-262|共4页
  • 作者

    大幸武司;

  • 作者单位

    東洋合成工業(株)感光材研究所(千葉県印两市若萩4-2-1);

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  • 正文语种 jpn
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