透過型電子顕微鏡(TEM)によるセラミックス材料の微構造観察と解析

摘要

近年の透過型電子顕微鏡（TEM)の発展には，目を見張るものがある。1931年に，エルンスト•ルスカらが最初の電子顕微鏡を開発して以来，進化をし続け，超高圧電子顕微鏡時代を経て，球面収差補正TEM(Cs-TEM)の出現により，今では水素が見える時代になった。この間，TEMはナノテクノロジ一の発展に大きく貢献した。なぜなら，微構造は材料の物性と密接に関わるため，TEMによる原子レベルでの微構造の観察•解析結果は，新材料の設計•開発において，機構解明のための重要な情報となる。最先端のCs-TEMでは，分解能の向上により，今までで見えなかった新しいナノ領域を見ることができるようになった。し力、し.Cs-TEMは非常に高価であり，高い操作技術が要求され，誰でも簡単に観察できるわけではない。一方，汎用型のTEMは，一昔前に比ベて操作が容易になり，材料の組織•微構造の正確な観察結果から.さまざまな知見を得ることができる。%Microstructural observation using transmission electron microscopy (TEM) is a promising technique for obtaining new findings with atomic-scale and developing phenomenological theory for ceramic materials. This paper reports on observation techniques and diverse findings obtained by observations of several ceramics. The knowledge obtained here is expected to be useful in the design of future materials.