透過電子顕微鏡法の最前線とセラミックス：TEM-EELSによるセラミックスの微細構造の解析

摘要

透過型電子顕微鏡法(Transmission Electron Microscopy: TEM)における電子エネルギー損失分光法(Electron Energy-Loss Spectroscopy: EELS)，いわゆるTEM-EELS法では，TEMが持つ高い空間分解能を生かして，極微小領域の元素分析や化学結合状態の解析が可能である．TEMにおける元素分析法には，特性X線を検出するEDXS (Energy Dispersive X-ray Spectroscopy)等もあるが，酸素や窒素などの軽元素の計測では，EELSが原理的に優れている．また従来のEDXSでは化学結合状態の解析はできない．TEM-EELSの詳細は，本特集の寺内氏による解説や教科書，解説等を参照されたい．本稿では簡単にTEM-EELSの概要を述べたのち，セラミックスの分析にどう役に立つのか具体的な解析例を示そう．