低温接合に基づく3次元ハイブリッド光集積技術と超小型・薄型光マイクロセンサへの応用

摘要

光を用いた計測装置やシステムは，高感度でノイズにrnも強いため，さまざまな分野で使われているが，エレクrnトロニクスとは異なる光の特殊性のため，これらの製造rnにかかるコストの多くは実装工程が占めているといわれrnている。