机译:基于紫外纳米压印光刻技术的用于变形测量的金属微/亚微光栅制造
National Institute for Materials Science, 1-2-1, Sengen, Tsukuba, Ibaraki 305-0047, Japan;
National Institute for Materials Science, 1-2-1, Sengen, Tsukuba, Ibaraki 305-0047, Japan;
National Institute for Materials Science, 1-2-1, Sengen, Tsukuba, Ibaraki 305-0047, Japan;
National Institute for Materials Science, 1-2-1, Sengen, Tsukuba, Ibaraki 305-0047, Japan, Research Center for Advanced Science and Technology, The University of Tokyo, 4-6-7, Megro-ku, Tokyo 153-8904, Japan;
grating; metal; deformation; ultraviolet nanoimprint lithography; strain gauge adhesive;
机译:使用紫外线可固化正性电子束光刻胶,通过紫外-纳米压印光刻和电子束光刻进行微通道制造
机译:基于纳米压印光刻和等离子体灰化工艺的多向单层金属纳米光栅微偏振器阵列
机译:纳米压印光刻与剥离法相结合的单层金属纳米光栅作为偏振片的制备
机译:使用玻璃状碳模具的室温固化纳米压印光刻制造基于DLC的微齿轮图案
机译:了解工程和医疗应用纳米压印光刻材料变形机制
机译:纳秒激光微光栅的制备及其在形变测量中的应用
机译:纳秒激光制作微尺度光栅及其在变形测量中的应用