高精度で物体の三次元形状計測が可能なレーザー距離計: 面発光レーザーを用いたFMCW光距離センサ

飯山 宏ー

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高精度で物体の三次元形状計測が可能なレーザー距離計: 面発光レーザーを用いたFMCW光距離センサ

机译：激光距离计，可以高精度测量物体的三维形状：FMCW光学距离传感器使用表面发射激光

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面発光レーザーを用いてFMCW光距離センサを構成し、距離分解能460μmと距離測定精度3σ=8.1μmの高精度距離測定を実現した.さらに、三次元物体形状計測へ応用し、硬貨やプリント基板の高精度な形状計測が可能であることを示した.

机译：使用表面发射激光器构成FMCW光学距离传感器，以及距离测量精度的高精度测量值460μm，距离测量精度为3σ=8.1μm。此外，它应用于三维物体形状已经表明，测量，硬币和印刷电路板可以说明高精度的形状测量。

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来源
《光アライアンス》 |2020年第4期|a145-50|共7页
作者
飯山宏ー;
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作者单位

金沢大学;

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