「信頼性」が半導体の価値基準に一段と重要さを増す故障解析技術: 走査透過電子顕微鏡とナノ・プロービング技術を提供

摘要

半導体産業をけん引する新たな分野として自動車産業が注目を集めている。自動車向け半導体に求められる「信頼性」を確保するために，これまで以上に主要さを増すのが故障解析の技術である。今回の講演で日立ハイテクノロジーズは，自動車向け市場の開拓に取り組む半導体メーカーをはじめ，信頼性の向上に取り組むユーサーに向けて展開している故障解析手法の中から，STEM（走査透過電子顕微鏡）と，ナノ・プローバについて解説した。