Arf液浸用レジストの新生産拠点が完成本格化する40nm世代以降の需要に対応: 最先端のarf液浸露光装置を導入したクリーンルームも稼僷開始

摘要

住友化学は，ArF液浸用レジストの本格的な量産を開始する。需要の急増に備えて同社大阪工場内に建設中のArF専用の新 たな量産工場が（本年）12月末に完成予定。いよいよ2009年初めから同工場を使った生産を始める。これに先駆けて最新鋭 のArF液漫露光装置を導入したクリーンルームを設けており,最先端のプロセス開発に取り組む半導体メーカーを強力に支 援する体制も整えている。