新たな方向へ進化を始めた半導体デバイスカギを握る信頼性を実現する技術が続々

摘要

今回の信頼性フォーラムで3次元LSIrnの信頼性をテーマに据えた背景には，rnいわゆる「ムーアの法則」に代表されるrn微細化のトレンドに頼らずに，3次元実rn装技術などを活用してLSIの機能およびrn性能を高めようという考え方がここにrnきて浮上し，さまざまな形で実用化がrn進められていることがある。