進化を続けるマイクロフォーカスX線装置高密度実装基板や部品の故障解析に威力

摘要

X線検査装産は,試料に影響を与えない非破壊検査手段を提供することから,医療とエ業の両方の分野で広く用いられている。X線装直の開発でおよそ100年という経験を持う島津製作所は,2008年9月1日に開催された「第5回 信頼性フ才－ラム」で，マイクロフォーカスX線を使った同社の検査装直概要と，検査精度向上向けた取り組みについて説明した。マイクロフォーカスX線検査装置け,数μmの高い分解能を備えた透視画像が得られることから，三次元LSlや高密度実装基板の故障解析などで威力を発揮する。