パッケージ技術で付加価値向上マイクに見るmemsデバイス開発術

摘要

MEMS技術を活用したマイクロホン（MEMSマイク）の市場に，共同開発相手のrnホシデンとともに参入したドイツInfineon Technologies AGが，その製造・実rn装技術を明らかにした。MEMS部の構造上の工夫に加え，パッケージング技術rnで高い信頼性を維持しつつ低コスト化を実現している。しかも感度やS/N（信号rn対雑音比）などの音響特性の改善に加え，指向性を持たせるという機能付加もパrnッケージング技術により可能にしている。Infineonは，こうした独自のパッケーrnジング技術によって，MEMSマイク市場で先行する米Knowles Electronics社rnの追い抜きを狙っている。