低温p-Si TFTの電気特性を左右する要因を徹底解明

摘要

「アモルファスSi（a-Si）TFTのしきい電rn圧剃静は園難だが∴低潟多結晶Si（p-Si）rnTFTはLSIと同様に制御できる」と一般にrn言われていた。筆者が1999年にエステイ・rnエルシーディに出向し，日々歩留まり改rn善に取り組む中で分かったことは，しきrnい電圧はわれわれの手中にないところでrn制御されていることだった。この要因をrn分析し，しきい電圧制御をいかに手中にrnするかが課題だった。